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小型二次离子质谱仪PCB抄板及反向案例解析

更新时间:2010年03月10日

    帕特农专注于反向技术研究领域近二十年,以狼性的技术研究能力在业界著称,现已成功破解了数万件设备的技术密码并实现了二次开发,现已投入第一线使用的设备性能良好,仿真度高,受到了客户的普遍好评。此案例是帕特农的成功案例之一,现将有关功能特点详细介绍如下:

小型二次离子质谱仪PCB抄板及反向案例解析
  小型二次离子质谱仪技术参数
  样品尺寸: 12.5mm或100mm 12.5mm或100mm
  真空度: 高真空 10-8Pa,
  10-6mbar
  高真空 10-8Pa,
  10-6mbar
  质谱: 四级杆 飞行时间
  离子束: 6kVGa 6kVGa
  绝缘样品分析: 辅助电子束 辅助电子束
  质量数范围: 300daltons >1200daltons
  质量下限: 3 1(氢)
  质量分辨率: dm=1(指质谱图中,谱峰相邻的两种物质的质量数差值dm的最小值为1,如果质量数差值小于1,则无法分辨。 m/dm=650(指质谱图中,谱峰相邻的两种物质的平均质量数m与两质量数差值dm之间的比值。该值是从测量到的Al元素与乙烯基C2H3基团的质谱中得到的值,两者的质量数整数部分都是27,小数部分不同。)
  灵敏度Mo/MoO: >5E3cps/nA >5E3cps/nA
  横向分辨率: 导体10m
  绝缘体50?m    导体10m
  绝缘体50?m
  纵向深度: 500nm深度 >1E3动态范围 500nm深度 >1E3动态范围
  深度分辨率: 对于表层薄膜<1nm,对于埋置层10-20nm 对于表层薄膜<1nm,对于埋置层10-20nm
  掺杂物探测极限: ppm ppm
  分析模式: 静态、动态、成像SIMS 静态、动态、成像SIMS
  样品装载时间: 标准样品 < 3 minutes 大样品< 15 minutes 标准样品 < 3 minutes 大样品< 15 minutes
  视场: 4.5 mm x 4.5 mm 4.5 mm x 4.5 mm
  一次测量离子种类: 每次只收集质量数为某一数值的离子 同时收集所有二次离子
  成像时间: 30秒 30秒
  一次装载样品数量: 标准1,选件31 标准1,选件31
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