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低温真空探针台PCB抄板及二次技术开发实例

更新时间:2010年06月01日

    低温真空探针台主要用于半导体、微电子、固体物理、纳米、超导等研究领域,是研究材料的电阻率、磁电阻等各种物理特性的有力工具,一般用来无损检测样品的电性能,是广泛应用在半导体生产测试过程中。以下是帕特农实现成功项目开发的低温真空针探台:
  系统组成
  · 探针台主体,包括:真空室,探针臂,直流或交流探针、探头电缆等。
  · 光学系统,包括:显微镜、CCD相机、电光源、彩色监视器等
  · 低温传输管线,用来把液氦或者液氮从杜瓦传送到探针台中
  · 控温仪,用来控制样品的温度
  · 抽真空系统,用来对探针台的真空室抽真空
  · 磁场系统,包括超导磁体和超导磁体电源
  系统特点
  · 信号范围直流-67G
  · 采用液氦和液氮连续流制冷,冷却迅速,同时冷却样品和探针,变温范围1.5K-475K
  · 可以同时监测样品和探针的温度
  · 340控温仪
  · 1.4-475K标定温度计,提供很高的精度
  · 最大样品范围4英寸
  · 最大探针行程 125mm x 51mm x 16mm
  · 原位倾斜  ±5°
  · 标准配置7:1的显微镜,同时提供12.5:1,16:1高精度的显微镜供用户选择
  · 系统标准配置包含:显微镜、CCD照相机、光源、彩色监视器
  · 直流、交流探针的更换简单、方便
  · 多种探针供用户选择
  为促进半导体制造技术的进步与共同技术研究,我们长期提供最新技术设备的仿制开发服务,为广大半导体生产制造企业的设备更新与升级换代提供条件,同时,我们长期提供各种高昂产品全套技术资料的转让,寻求大型工程项目合作,有意者可致电帕特农咨询详情。